石英掩模版以高纯石英玻璃为基材，石英玻璃具有高透过率、高平坦度、低膨胀系数等优点，同时成本较高，通常应用于高精度掩模版产品。石英掩模版主要在半导体应用领域内使用，包括模拟IC、各种分立器件、MEMS以及平板显示等。

苏打掩模版使用苏打玻璃作为基板材料，苏打玻璃热膨胀率相对高于石英玻璃，平整度和耐磨性相对弱于石英玻璃，成本相对较低，通常应用于中低精度掩模版。苏打掩模版主要在精度要求较低的领域中使用，包括中低端半导体制造、半导体封装、光学器件、中低端显示面板、触控屏和电路板制造等领域。