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做半导体光罩领域的领军者
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掩模版
Photomask
集成电路半导体制造过程中的图形转移母版掩模版(Photomask)又称光罩、光掩模、光刻掩模版等,是半导体芯片制造过程中的图形转移工具或母版,是图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。
在光刻过程中,掩模版是设计图形的载体。通过光刻,将掩模版上的设计图形转移到光刻胶上,再经过刻蚀,将图形刻到衬底上,从而实现图形到硅片的转移,功能类似于传统照相机的“底片”,承载了电子电路的核心技术参数。
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