石英掩模版以高纯石英玻璃为基材，石英玻璃具有高透过率、高平坦度、低膨胀系数等优点，同时成本较高，通常应用于高精度掩模版产品。石英掩模版主要在半导体应用领域内使用，包括模拟IC、各种分立器件、MEMS以及平板显示等。